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        白光干涉薄膜厚度测量仪Delta

        产品特点

        快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

        应用案例

        应用领域

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        半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)???????? LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)????????????? LED (SiO2、光刻胶ITO等)


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        触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)??????????????????????????? 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)????????????????????????? ? 医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

        技术参数

        型号

        Delta-VIS

        Delta-DUV

        Delta-NIR

        波长范围

        380-1050nm

        190-1100nm

        900-1700nm

        厚度范围

        50nm-40um

        1nm-30um

        10um-3mm

        准确度1

        2nm

        1nm

        10nm

        精度

        0.2nm

        0.2nm

        3nm

        入射角

        90°

        90°

        90°

        样品材料

        透明或半透明

        透明或半透明

        透明或半透明

        测量模式

        反射/透射

        反射/透射

        反射/透射

        光斑尺寸2

        2mm

        2mm

        2mm

        是否能在线

        扫描选择

        XY可选

        XY可选

        XY可选

        注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

        2.?可选微光斑附件。


        尊敬的客户您好,

        非常感谢您访问广州贝拓科学技术有限公司官方网站,如果您有任何需求或者咨询都可以留言告诉我们,我们的客服将会尽快给您回复。

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